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Predictive simulation of semiconductor processing

Autres auteurs : Dabrowski, Jarek. | Weber, Eicke R.
Collection : Springer series in materials science . 72 0933-033X Publié par : Springer-Verlag (Berlin | New York ) Détails physiques : xvii, 490 p. ill. (some col.) 24 cm. ISBN :3540204814 (acidfree paper). Année : 2004
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