Predictive simulation of semiconductor processing
Collection : Springer series in materials science . 72 0933-033X Publié par : Springer-Verlag (Berlin | New York ) Détails physiques : xvii, 490 p. ill. (some col.) 24 cm. ISBN :3540204814 (acidfree paper). Année : 2004Type de document | Site actuel | Cote | Statut | Date de retour prévue | Code à barres | Réservations |
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